Aifaco RF цахилгаан хангамж RFS-1305N Япон Aifaco цахилгаан хангамжийн засвар RFS-1310N

RF电源 / 匹配切换机RFS-N 系列RFS-1305NULVACRFS-N系列是输出频率13.56MHz、功率0.5kW/1/kW/3kW/5kW的等离子工艺用RF电源。装载RF放大器实现了小型·轻量化。另外，RF电源内置自动匹配控制器功能，仅从主机单元就可以对RF电源进行电力控制及匹配系统控制。特点配有高功率转换效率的RF电路以节省能量。快速自动匹配快速算法实现快速自动匹配。RF电源内置自动匹配功能只有主机才能进行匹配系统控制。可通过内置控制器手动控制RF电源和匹配器灵活的控制外部模拟控制，可实现串联通信控制。可靠性高对作为设备制造商所积累的设计经验。用途溅射设备CVD设备等离子蚀刻设备RF离子源中和剂