Ebara хуурай насос EV-S200P засвар EBARA вакуум насос EV-S200N лити батерей вакуум насос засвар Сужо

产品介绍通过转子设计与怠速功能，节能和小型化达到世界水平。有助于降低运行成本。此外，还可选择性材料，从预真空锁、SEM等轻负荷用途到腐蚀性工艺，能够满足各种不同应用需求。规格设备名称单位EV-S20EV-S20P/NEV-S30EV-S30PEV-S50EV-S50P/NEV-S100EV-S100P/NEV-S200EV-S200P/N排气速度L/min1,6701,6703,3003,3005,0005,00010,00010,00020,00020,000极限压力Pa3.05.00.50.50.50.50.50.50.50.5连接口径吸气口NW50NW50NW50NW50NW50NW50NW80NW80NW100NW100排气口NW25NW25NW25NW25NW25NW25NW25NW25NW40NW40极限压力时功率概值kW0.40.40.40.40.550.550.650.650.750.75冷却水流量L/min1.5~3.01.5~3.01.5~3.01.5~3.02.0~3.02.0~3.02.0~3.02.0~3.02.0~3.02.0~3.0温度℃Max. 30Max. 30Max. 30Max. 30Max. 30Max. 30Max. 30Max. 30Max. 30Max. 30N2流量Pa•m3/s-17～20 (2.4)-17～20 (2.4)17～20 (2.4)17～20 (2.4)17～20 (2.4)电源　相／电压／频率200V机型三相/200-220V,50/60Hz三相/200-220V,50/60Hz三相/200-220V,50/60Hz三相/200-220V,50/60Hz三相/200-220V,50/60Hz三相/200-220V,50/60Hz三相/200-220V,50/60Hz三相/200-220V,50/60Hz三相/200-220V,50/60Hz三相/200-220V,50/60Hz400V机型三相/380-440V,50/60Hz三相/380-440V,50/60Hz--三相/380-440V,50/60Hz三相/380-440V,50/60Hz三相/380-440V,50/60Hz三相/380-440V,50/60Hz三相/380-440V,50/60Hz三相/380-440V,50/60Hz电源容量kVA3.23.23.63.64.84.86.46.46.86.8质量概值kg60609090100100120120170170※规格为示例规格。具体规格因机型而异，详细敬请垂询