Xuzhou Эдвард шураг вакуум насос iH1000 засвар үйлчилгээ Yancheng Эдвард вакуум насос iH1000 засвар 

爱德华iH1000螺杆真空泵维修  iH1800英国爱德华半导体干式真空泵iH1000维修 昆山熙日机械设备有限公司是由一批长期服务于某外企的骨干精英组建而成，注册资金100万，自公司成立起一直致力于真空设备及配件的研究、生产、推广、销售、安装及维修领域。本公司经过多年不懈的努力，已拥有一支的IT研发人员和的销售网络，所经营的产品，现已与国内外多家大型企业保持着长期的合作关系，本公司产品以质量优良、操作简单、高及周到的服务等广受市场好评，使得公司的效益得到迅速发展，为公司的长远发展打下牢固的基础。英国爱德华edwards iH1000 干式泵概述Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性和性能。iH 系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。英国爱德华半导体干式真空泵iH1000维修应用负载锁输送计量平版印刷PVD 制程PVD 预清洁RTA剥离/灰化刻蚀植入源HDP CVDRTPSACVDMCVDPECVDLPCVDALD功能和优势优化了设施消耗。无需预防性维护。悬臂轴和异型转子便于颗粒的处理。在节省电机功率的同时提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。的制造材料允许泵送腐蚀性气体。较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的。整体式轴杆无需使用电机联结器，而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积，从而降低了总体占地面积。英国爱德华半导体干式真空泵iH1000维修技术数据峰值速度1000 m3h-1589 cfm16670 l min-1极限真空1 x 10-3 mbar7.5 x 10-4 Torr0.1 Pa典型轴封氮流量4 slm进气口连接ISO100出口连接NW4015 psi 压降下典型冷却水流量240 l h-14 l min-1重量430 kg极限功率输入3.8 kW电机额定功率6.1 kW油容量1.48 l