南通杭州上海爱德华半导体真空泵EPX180L真空泵维修 昆山张家港太仓吴江爱德华真空泵EPX180L维修保养 EPX系列干泵概述新的紧凑型 EPX500 高真空干泵的特性是：工作性能更佳，运行成本更低。EPX500 使用了的保护机械装置，能够从大气压抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的极限压力。模块化 EPX500 基于备受赞誉、大获成功的 IPX 系列，可提供的性能，与 IPX 相比，包装重量轻了 20%、体积小了 30% 且功率降低了 40%。 应用EPX 系列涵盖的应用，从水处理到中度工作负载的制程。EPX“L”系列旨在用于泵送惰性气体混合物（如负荷锁定）且通过制程机台接口提供控制的清洁工作应用。功能和优势紧凑的占地面积 – 作为可用的小工具上泵之一，EPX 节省了占地面积。EPX 可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和安装成本，如果需要也可远程安装。低运行成本 - EPX 仅需要 1.4 kW 的功率和整合空闲模式，从而可化功率效率。的保护机械装置 – EPX 可以从大气压抽空到涡轮分子基准压力，并可以在所有进气口压力下连续工作。超清洁机械装置 – 传统的高真空轴承底油脂使用油脂润滑，这可能成为制程工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承底油脂，并且不存在任何其他的潜在污染源。非常可靠 – EPX 基于经过现场验证的 IPX 技术，具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，大约每 5 年维修一次，程度地延长了泵的使用寿命。可兼容的网络 - EPX 系列配有终用户控制，可以连接到各种结构的网络，以进行诊断监视和控制。 技术数据 EPX180EPX500峰值速度170 m3h-1500 m3h-1105 ft3min-1295 ft3min-12835 l min-18338 l min-1极限真空<1 x 10-4 mbar<1 x 10-6 mbar<7.5 x 10-5 torr<7.5 x 10-7 torr<1 x 10-2 pa<1 x 10-4 pa预热时间（达到标称性能）30 分钟30 分钟入口法兰ISO63ISO160出口法兰NW25NW25噪音 <59 db(a)<59 db(a)小冷却水流速2 l m-12 lmin-1冷却水温度15 – 35 °C15 – 35°C电源供给200/208 V，50/60 Hz 三相200/208 V，50/60 Hz 三相极限功率1.4 kW1.4 kW电机额定功率3.0 kW3.0 kWTIMC3SPI重量43.5 kg45.2 kg