Япон Eyuan ESA70W EBARA вакуум насосны засвар Янжоу хотын вакуум насосны засвар үйлчилгээ Вэнжоу хот

ESA型可满足氢气等轻质气体排气要求/大型腔室高速排气要求的干式真空泵1、满足大型真空腔室高速排气要求2、满足有机溶剂要求的选配件3、氢气等轻质气体排气4、性材料选配件5、无油6、可满足CE标示/SEMI-S2/NRTL要求产品介绍ESA型产品阵容包括1400L/min～10,000L/min排气量的机型，适合氢气等轻质气体排气，以及20,000L/min～80,000L/min排气量的机型，适合大型腔室高速排气。适合轻质气体排气的10,000L/min以下机型采用紧凑化设计，可以选择性材料选配件，是MO-CVD等大流量轻质气体排气用途的选择。大型机型兼具大排气量和静音低振的优点，还可选择有机溶剂排气用选配件，是LCD溅镀装置、真空干燥工艺和大型预真空锁等的选择。