Yuanyuan ESR20N вакуум насосны засвар үйлчилгээ EBARA вакуум насосны засвар үйлчилгээ Янжоу вакуум н

产品介绍通过转子设计与怠速功能，实现节能和小型化。有助于降低运行成本。此外，还可选择性材料选配件，从预真空锁、SEM等轻负荷用途到腐蚀性工艺，能够满足各种不同应用需求。规格设备名称单位ESR20NESR30ESR30NESR80WESR80WNESR100WNESR200WESR200WNESR300W(N)ESR500W(N)排气速度L/min1,300 ~ 2,0003,0003,0004,000~8,5004,000~8,5004,000~10,00010,000~20,00010,000~20,00030,00046,000极限压力Pa2.00.530.670.50.20.20.50.130.20.2连接口径吸气口NW40NW50NW50NW50NW50NW50NW100NW100NW100ISO160排气口NW40NW40NW40NW40NW40NW40NW40NW40NW40NW40极限压力时功率概值kW0.71.71.71.01.01.01.01.12.93.1冷却水流量L/min2~83.5~83.5~82~52~82~82~52~83.5~83.5~8温度℃Max. 30Max. 30Max. 30Max. 30Max. 30Max. 30Max. 30Max. 30Max. 30Max. 30N2流量Pa•m3/s19~22 (0)19~22 (3.4)19~22 (3.4)17~21 (4.0)19~22 (3.4)19~22 (3.4)17~21 (4.0)19~22 (3.4)19~22 (3.4)19~22 (3.4)电源　相／电压／频率200V机型三相/200V/50Hz三相/200-220V/60Hz三相/200V/50Hz三相/200-220V/60Hz三相/200V/50Hz三相/200-220V/60Hz三相/200V/50Hz三相/200-220V/60Hz三相/200V/50Hz三相/200-220V/60Hz三相/200V/50Hz三相/200-220V/60Hz三相/200V/50Hz三相/200-220V/60Hz三相/200V/50Hz三相/200-220V/60Hz三相/200V/50Hz三相/200-220V/60Hz三相/200V/50Hz三相/200-220V/60Hz400V机型三相/380-400V/50Hz三相/380-440V/60Hz三相/380-400V/50Hz三相/380-440V/60Hz三相/380-400V/50Hz三相/380-440V/60Hz三相/380-400V/50Hz三相/380-440V/60Hz三相/380-400V/50Hz三相/380-440V/60Hz三相/380-400V/50Hz三相/380-440V/60Hz三相/380-400V/50Hz三相/380-440V/60Hz三相/380-400V/50Hz三相/380-440V/60Hz三相/380-400V/50Hz三相/380-440V/60Hz三相/380-400V/50Hz三相/380-440V/60Hz电源容量kVA4.07.07.07.07.07.08.08.010.612.3质量概值kg90190190170180