GRYLLS Grylls дулааны шингэний массын урсгал хэмжигч 5950D4

　　质量流量控制器用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空灯多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括：电子工艺设备，如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器　　GRYLLS格里尔斯热式液体质量流量计5950D4主要技术指标　　1　　量程范围　　（0~5，10,20,30,50,100,200,300,500 ）SCCM　　（0~1,2,3,5,10,50,100,200,500 3000） SLM　　2　　准确度　　±1%F.S ±0.5%F.S　　3　　线性　　±0.5~1.5%F.S　　4　　重复精度　　±0.2%F.S　　5　　响应时间　　电特性：10sec 气特性：（1~4）sec　　6　　工作压差　　0.1~0.5MPa　　7　　耐压　　3MPa　　8　　工作环境温度　　0~70℃　　9　　数字量　　RS485 MODBUS协议　　10　　模拟量　　DC 0~5V ，4~20mA 可选　　11　　供电　　DC +15V/24V 可选，流量计＜400mA，控制器＜600mA　　12　　电气连接　　DB15　　13　　漏率